ISO 23131:2021

Ellipsométrie — Principes
Le présent document spécifie une méthode de détermination des constantes optiques et diélectriques dans la gamme spectrale UV-VIS-PIR ainsi que des épaisseurs de couche dans le domaine du contrôle de production sur ligne, de l’assurance qualité et de la mise au point de matériau par des laboratoires d’essai accrédités. Il s’applique aux systèmes de mesure indépendants. La présentation de l’incertitude des résultats est conforme à l’ISO/IEC Guide 98-3.
SDO:
ISO
Language:
French
ICS Codes:
17.020
Status:
Published
Publish date:
2021-04-21
Standard Number:
ISO 23131:2021