IEC 62047-4:2008

La CEI 62047-4:2008 décrit des spécifications génériques pour les systèmes électromécaniques microminiaturisés (MEMS, Micro-Electro Mechanical Systems) faits à partir de semi-conducteurs, constituant la base des spécifications présentées dans d'autres parties de cette série pour différents types d'applications basées sur des MEMS, telles que des capteurs et les MEMS-RF, à l'exclusion des MEMS optiques, des bio-MEMS, des micro-TAS et des MEMS de puissance. Cette norme spécifie les procédures générales d'évaluation de la qualité à utiliser dans le système IECQ-CECC et établit les principes généraux nécessaires pour décrire et tester les caractéristiques électriques, optiques, mécaniques et environnementales. La CEI 62047-4:2008 contribue à la préparation de normes servant à définir des dispositifs et des systèmes fabriqués par des techniques de micro-usinage, incluant, mais sans s'y limiter, la caractérisation et la manipulation des matériaux, l'assemblage et les essais, les méthodes de mesure et de commande de processus. Les MEMS décrits dans cette norme sont essentiellement constitués de matériaux semi-conducteurs. Toutefois, les déclarations faites dans cette norme peuvent également être appliquées aux MEMS utilisant des matériaux autres que des semi-conducteurs, par exemple, des polymères, du verre, des métaux et des matériaux en céramiques.